电动汽车集团(EVG),晶片键合和光刻设备的领先供应商的MEMS,纳米技术和半导体市场,今天介绍NanoCleave™,革命性的硅层释放2020欧洲杯下注官网技术,使超薄层叠加的前端处理,包括先进的逻辑、记忆和功率器件的形成,以及半导体先进包装。
EV组的革命NanoCleave™层释放技术使用一个红外(IR)激光器,可以通过硅和无机释放材料,使任何超薄薄膜的红外laser-initiated释放或层硅载体与纳米精度。欧洲杯足球竞彩图片来源:EV组。
NanoCleave完全front-end-compatible层释放红外线(IR)激光技术特性,可以通过硅,这是透明的红外激光波长。加上特殊配方的使用无机层,这一技术使任何超薄薄膜的红外laser-initiated释放或层硅载体与纳米精度。
因此,NanoCleave使硅片载体等先进的包装工艺扇出Wafer-level包装(FoWLP)使用模具和重组晶片以及插入器对3 d堆叠ICs (3 d原文如此)。同时,其兼容性与高温过程使全新的流程对3 d IC和3 d连续集成应用程序,使混合甚至融合成键的超薄层硅载体,从而对3 d和异构集成以及材料转移在下一代了晶体管设计。
公司高管将讨论这在台湾半导体红外激光传输技术的突破,在台北南岗区展览中心大厅1 (TaiNEX 1)在台北,台湾,于9月14 - 16。活动的参加者可以在展台参观EVG # L0316(4楼),以了解更多信息。
硅运营商3 d堆叠和后端处理中获益
在3 d集成、载波技术thin-wafer处理是实现更高的性能的关键系统随着互连带宽。玻璃载体已经成为公认的方法建立设备通过临时结合有机粘合剂层,使用紫外(UV)波长激光解散粘合剂和释放设备层,这是后来永久保税到最终产品晶片。
然而,玻璃基板很难工艺与半导体工厂设备,设计主要围绕硅,和需要昂贵的升级,使玻璃晶片处理。2020欧洲杯下注官网此外,有机粘合剂通常局限于处理温度低于300°C,这限制了它们的使用后端处理。
启用与无机硅载体释放层避免这些温度和玻璃载体兼容性问题。此外,红外的纳米精度laser-initiated裂开打开处理晶片极薄的设备而不改变的可能性的过程记录。后续这样的设备的薄层叠加使更高的带宽互联和开辟了新的机会为下一代高性能系统设计和部分模具。
新一代晶体管小说Layer-Transfer流程节点的需求
同时,晶体管的路线图sub-3-nm节点要求新的体系结构和设计技术创新,如埋权力rails背后动力输送网络,互补场效应晶体管(CFETs)甚至2 d原子频道,所有这些需要层极薄材料的转移。欧洲杯足球竞彩
运营商和无机硅释放层支持过程清洁、材料兼容性和高处理温度要求前端生产流。然而,直到现在,硅运营商必须完全删除使用研磨,抛光和腐蚀过程,从而导致微米左右的变化在工作设备层的表面,使这种方法不适合薄层叠加在先进的节点。
EVG NanoCleave新技术利用一个红外激光和无机释放材料,使激光剥离在硅纳米精度。欧洲杯足球竞彩这消除了需要为先进的玻璃基板包装,避免温度和玻璃载体兼容性问题,并使超薄转移的能力(单个微米和下图)层通过运营商在前端处理不改变的过程记录。
EVG nanometer-precision的新流程支持先进的半导体器件路线图要求薄设备层和包,增加了异构集成,通过薄层转移和降低处理成本,消除玻璃基板。
”半导体扩展变得越来越复杂和难以实现由于更严格的公差,“保罗•林德纳执行技术总监EV组。
行业需要新的流程和集成的方法来支持更高的集成密度和设备性能。
执行技术总监保罗•林德纳EV组
林德纳继续说道,“NanoCleave层释放技术改变半导体扩展通过薄层和死亡堆积,有可能解决最紧迫需求的行业。NanoCleave将有助于使我们的客户实现他们的先进设备和包装通过高度通用的路线图和通用层释放技术与标准的硅晶片,晶片流程,工厂使无缝集成,节省客户的时间和金钱。”
独特的红外激光技术
使用EVG NanoCleave技术,硅晶片的背后暴露的红外激光,利用独特的波长,硅是透明的。一个无机层预构建释放到堆栈通过标准硅沉积过程吸收红外光线,导致硅在预定的裂开,精确定义层或区域。
能够使用无机释放层释放使更精确和更薄层使用(在几纳米的范围和有机粘合剂几微米)。此外,释放无机层兼容高温处理(1000°C),使许多新的前端应用程序层转移,如外延、沉积和退火,有机粘合剂是不相容的。
产品可用性
示威EVG NanoCleave层释放技术现在可以在公司的总部。
关于电动汽车集团(EVG)
电动汽车集团(EVG)是设备和过程解决方案的领先供应商的制造半导体、微机电系统(2020欧洲杯下注官网MEMS)、化合物半导体、电力设备和纳米技术设备。主要产品包括晶圆键合、thin-wafer加工、光刻/ nanoimprint光刻(NIL)和计量设备,以及光致抗蚀剂镀膜机、吸尘器和检查系统。2020欧洲杯下注官网电动汽车集团成立于1980年,服务和支持一个复杂的全球客户和合作伙伴网络遍布世界各地。EVG可用的更多信息www.EVGroup.com。
