2006年8月1
下一代联合聚焦离子束(FIB)和扫描电子显微镜(SEM)技术的研究将于今天揭幕范公司在2006年芝加哥显微镜和微分析会上发布了全新的Helios NanoLab™DualBeam™。
Helios NanoLab采用了一种新型超高分辨率场发射SEM柱，结合FEI公司广受好评的Sidewinder™FIB柱和气体化学，在双束系统中提供了新的成像分辨率和对比度。它还提供了增强的稳定性和优化的操作范围内的各种参数。新的小型DualBeam平台能够实现业界领先的3D表征、分析和图像重建应用、纳米原型(制造和测试)功能，以及高质量的样品制备能力，为需要深入纳米尺度的研究人员和开发人员提供帮助。
“Helios NanoLab的设计是为了满足我们在研发和产品开发环境中不断增长的DualBeam用户基础的苛刻要求，”FEI的纳米研究和行业市场部高级副总裁Rob Fastenau说。FEI继续在FIB/SEM组合解决方案方面引领创新。我们相信，全新的DualBeam平台将能够在多种应用中实现突破性的结果，具有准确性和可重复性。”
凭借其先进的样品制备能力，Helios NanoLab补充了FEI的Titan S/ tem——世界上最强大的显微镜——自从去年在显微镜和微分析展上推出以来，一直受到业界的好评。Helios系统能够快速和精确地制备最薄的S/TEM样品，对样品几乎没有损伤。Helios NanoLab和Titan S/TEM是目前商业市场上性能最高的工具。