Inotera订购来自Aviza Technology的多个系统用于DRAM生产

Aviza Technology,Inc。,全球半导体,化合物半导体,纳米技术和其他相关市场的高级半导体设备和过程技术的2020欧洲杯下注官网供应商今天宣布,领先的台湾台湾铸造厂Inotera Memories,Inc。已下令为多个RVP-300plus(TM)系统下达订单。该工具计划作为Inotera Fab 2容量扩展的一部分进行安装。Inotera将在90 nm和下一代技术节点上使用系统来进行沟槽的DRAM应用。

Inotera Memories,Incores生产高级副总裁David Liu说:“自开放Fab 1以来,Aviza一直是Inotera的重要供应商。”对于许多热应用,由于我们在Fab 1 Ramp中的服务和支持的成功以及它们满足我们严格的量制造要求的能力。”

RVP-300Plus是一种以最佳磁力效果而闻名的生产经过验证的300毫米炉,将优越的生产率与大气扩散和低压化学蒸气沉积(LPCVD)过程解决方案相结合。该系统通过采用诸如快速温度升高和降温功能之类的功能来提供最佳的热预算控制,从而导致化学沉积和整个晶圆的温度控制。另外,RVP-300plus利用双船配置,导致吞吐量增加。

“阿维扎(Aviza)继续成功地加强了其在热处理市场中的全球地位,”梅·苏(May Su)说,阿维萨技术公司(Aviza Technologic)的副总裁兼总经理副总裁兼总经理。300plus订单证明了该产品在全球范围内的持续势头。我们很高兴Inotera选择了Aviza的RVP-300Plus Systems用于其Fab 2容量扩展计划。”

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