结构材料安装高温低压碳欧洲杯足球竞彩化硅CVD系统

结构材料工业公司欧洲杯足球竞彩宣布销售、交付和安装其第一款Dragon CVDTM工具,用于SiC块体材料的高温(通过2200C)和低沉积压力(分托至大气)沉积。Dragon CVDTM工具为研究人员提供了一种研究高温沉积过程的重要新工具。该工具是与宾夕法尼亚州立大学电光中心合作设计和制造的,可解决高温CVD和PVT问题。

该系统具有双壁腔,水在壁之间流动,50千瓦感应加热器系统与调谐电容器,湿或干泵,涡轮泵,全自动化过程控制冗余安全功能,包括电子表格编程,实时监控和趋势分析等功能,天然气和金属有机源的能力和紧凑的足迹-所有的经济成本。

该系统补充了结构化材料工业公司提供的氧化物、氮化物和碳化物工具的不断增长的产品线,并应适用于一系列氮化物和相关工具。欧洲杯足球竞彩SMI还专门为CVD和相关技术定制系统、反应器和其他组件。

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