2007年6月20日
日立高新技术已宣布可在其S-3400N和S-3700N变压扫描电子显微镜上使用新的3D分析软件包。新软件与仪器的5段固态背散射探测器结合使用，提供了制作、操作和记录样本三维可视化的能力，并对三维特征进行全面测量。
5段背散射检测器允许对不同段进行独立调整，以强调样品的形貌或成分。新软件更进一步，自动从背散射电子探测器的各个部分收集一系列4个独立的图像。
高度信息根据4个倾斜检测图像中的差异计算。
使用新软件可以进行全面的测量。这些测量包括高度测量、表面积测量和表面粗糙度测量，使用截面轮廓，使用行业标准方法。
与手动倾斜试样或电子倾斜入射电子束的方法相比，该新软件为获取3D信息提供了一种极易使用的替代方法。提供了鼠标控制的3D图像缩放和旋转，以及将图像操作动画记录为AVI文件的能力，因此无需任何特殊软件即可轻松共享信息。