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使用高k /金属栅极结构冷却晶体管的新技术

晶体管中的时间来实现剧烈的变化 - 以将新材料和流程集成在其栅极结构中,使芯片更快,更节能,使摩尔定律能够继续。欧洲杯足球竞彩Applied 欧洲杯足球竞彩Materials,Inc。今天推出了技术帮助客户实现的技术 - 全面的完整组合,适用于高批量生产中的高k /金属栅极(HK / Mg)结构的完全表征过程。

从45nm节点开始为逻辑芯片,晶体管很小,传统的栅极材料不再有效,允许过度电流泄漏加热晶体管并消耗过大的功率。欧洲杯足球竞彩HK / MG结构可以提供> 10倍的栅极泄漏减少,切换速度明显更快。为了说明节能,如果2006年运输的所有微芯片使用了HK / MG技术,则节省的总电量(1)可以为每年提供450万房屋的电力。但是使用新的HK / MG材料使晶体管“欧洲杯足球竞彩酷”再次解决了一部分问题。真正的挑战是将这些HK / MG材料集成到设备中,以创建具有原子型工程界面的优化栅极结构,具欧洲杯足球竞彩有卷制造所需的性能。

“多年来,我们的客户将我们的客户视为最强大的缩放障碍。欧洲杯足球竞彩我们希望通过提供综合证明的香港/千兆技术,以尽量减少其过渡,以尽量减少这种风险,以便更快地转型,“应用硅系统集团高级副总裁兼总经理汤姆圣德尼斯表示。“应用有强劲的历史,帮助客户将新材料集成到流程中,最近通过转换到低k电介质。欧洲杯足球竞彩由于我们有上游和下游技术,我们可以优化流程序列,并帮助客户成功集成HK / MG技术来制作最先进的晶体管。“

制造HK / MG结构有几种方法,应用了支持客户不同方法的固体阵容。这些完全表征的过程是集成测试的,以降低客户的时间来实现完全优化的HK / MG结构。而不是仅提供高k电影,而不是在单个Centura®平台上提供集成的介质堆栈解决方案,这些频叠解决方案结合了四个关键方法(高k沉积,氧化,氮化和退火)。对于挑战金属栅极堆栈,在金属沉积技术领导的多年来,在其Endura®平台上提供了使用ALD(2)和PVD(3)技术的集成方案组合,以解决各种客户设计。应用的新型创新性高温蚀刻技术可提供生产蚀刻HK / MG堆栈所需的临界型材。凭借25nm缺陷敏感性和自动化FIB(4),应用的缺陷检查,审查和分析系统加速了HK / MG结构的关键缺陷和过程学习。

应用特色于其玛雅科技中心的HK / MG技术,是世界上最先进的半导体工艺实验室之一。应用公司的系统和技术,应用工程师成功地证明并测试了HK / MG结构,用于逻辑和内存(充电陷阱闪光灯)器件到22nm设计节点。这些结构可以向客户提供头部开始下一代流程。有关应用HK / MG解决方案的详细信息,请访问www.applied欧洲杯足球竞彩materials.com/highk_metalgate.

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