XRD软件量身定制,以分析来自截止淘大的外延层

康帕蒂基新的X'Pert外延和Smootchfit软件版本4.2允许使用公司的X'Pert Pro MRD和早期的高分辨率X射线衍射计详细分析半导体外延层。该包是截至南大略的X'Pert软件范围的一部分,它使用XRDML格式。

X'Pert Endizaxy和SmooteFit软件版本4.2来自陈扬莱。

当分析半导体外延层时,获得对数据的良好拟合可能是一个挑战。X'Pert外延和Smootchfit自动适合模拟摇摆曲线以测量数据。它提供五种不同的算法,可根据独特的拟合要求量身定制。所有算法的默认拟合参数允许“快速开始”使用软件并作为体验构建,可以根据需要选择算法。

用户可以从以下算法中进行选择:SmootchFit,它控制调整参数并获得精度的测量值;Levenberg-Marquardt用于自动调整计算;主要轴用于参数空间的真正统计扫描;遗传算法,一种用于低置信水平的参数值的全局优化技术;并模拟退火,避免了局部最小问题。

简化的拟合选项卡显示所有参数的实时状态。在完成后,将突出显示上层或下限的任何参数,允许用户选择在适当的情况下重新安装扩展参数。

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