2004年1月27日
由于氮化铝（ALN）是具有高导热性的绝缘材料，因此它可以用作半导体器件的散热基板。
由ALN用于半导体生产设备制成的晶片加热基座已被商业化2020欧洲杯下注官网NGK由于对卤素气体耐腐蚀材料的研究。欧洲杯足球竞彩
基于对AlN陶瓷微观结构控制的研究，NGK研制了两种导电AlN陶瓷。
一种类型的体积电阻率对应于绝缘体和半导体的边界区域。体积电阻率可控制在1E9 ~ 1E12欧姆-厘米(中电阻率型)。另一种类型在半导体区域具有体积电阻率。这种体积电阻率可以控制在1E1到1E3欧姆厘米(低电阻率型)。
为使绝缘材料具有导电性，一般必须包括20%以上的导电颗粒;欧洲杯足球竞彩欧洲杯猜球平台但对于这些新材料，只使用了几个百分点欧洲杯足球竞彩的烧结助剂。
因此，这些材料可以通过传统的烧结工艺生产欧洲杯足球竞彩，并且仍然能够保持AlN的原始性能，如热膨胀系数，机械强度，导热系数至少在100 W/mK等。
通常，通过绝缘陶瓷，体积电阻率随温度的增加而降低，但是介质电阻率型温度变化的电阻率的变化约为常规ALN陶瓷的一半。对于低电阻率型，电阻率随温度变化几乎为零。
中电阻率型已被用于半导体生产设备的静电卡盘材料。2020欧洲杯下注官网
这些新型导电氮化铝陶瓷在高温或不能使用金属材料的腐蚀性环境下的组件中还有其他可能的应用，以及需要电场控制和/或放电功能的组件，欧洲杯足球竞彩例如在电气或电子设备中。2020欧洲杯下注官网
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