ATK公司发布PECVD系统"第七代平板显示器

ATK公司公司,一个应用材料欧洲杯足球竞彩公司已经发布了AKT-40K PECVD系统(等离子体增强化学汽相淀积)"制造业第七代的平板显示器和显示器。

第七代基质是迄今为止最大、最先进的基质。他们通常是1.8 x 2.2米大小,可以产生8 x 40英寸的板或6 x 46英寸面板/衬底。它们的主要用途是生产平板显示器或薄膜晶体管显示器,俗称tft - lcd电脑显示器。

钱伯斯ATK-40K可以容纳五个过程,具有处理能力超过每小时60基质。这使它最快的处理系统为这种类型的应用程序在市场上。

系统能够原位沉积一层或多层薄膜的掺杂和无掺杂非晶硅,氧化硅,氧氮化硅和氮化硅。

ATK公司已经收到客户的承诺为多个ATK-40K PECVD系统",他们希望在今年年中开始航运。

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