詹姆斯·A·格里尔博士创立PVD产品于1995年开发和销售大面积脉冲激光沉积系统。在他以前在雷声公司的研究部门工作,格里尔博士开发的原型设备与规模PLD工艺高达200毫米大小的能力。2020欧洲杯下注官网当时格里尔博士觉得有必要在R&d市场这样的工具,并留下雷神构建各种物理气相沉积(PVD)的工具,用于R&d的。
格里尔博士迅速从赖特 - 帕特森空军基地赢得了第二阶段SBIR开发大面积PLD系统处理多达5英寸直径的基板。本机专门设计用于生长HTS材料和它已被用于生长高质量YBCO和其他材料在基板上高达直径为125毫米(5欧洲杯足球竞彩英寸)。这SBIR的结果是PLD 5000系统。更小和更大系统的全系列紧随其后。
1996年,PVD产品被合并为EDIOP CORPORATION。作为EDIOC Corporation工程的VP,Greer博士继续开发和销售大面积PLD系统以及其他PVD和离子梁工具,包括气体聚类离子束处理器。Greer博士帮助Ediole Corporation在四年内从四到六十人生长到超过六十人,并在2000年9月被JDSU收购了EDION。此时Greer博士留下了Epion / JDSU,并重新启动了PVD产品,以便为所有类型的薄膜物理气相沉积技术进行PVD研发工具,具有他自己的资金。
此后,PVD产品一直在销售各种各样的高质量PLD系统,磁控溅射系统和来源,热和电子束蒸发器。PVD产品已经完成了280项目,在大小日期变更从$ 1,000到超过$ 250万美元。关于我们销售的1/2已经为世界各地的国际客户。各种各样的我们的PLD系统包括双光束激光系统,和组合的沉积系统,多种类型的涂布的导体系统中的现在在许多公知的研究实验室操作全世界。由于我们产品的高完整性PVD产品具有多年来购买了多台机器从我们这里回头客很多。
PVD产品在过去几年显著增长。我们已经聘请了拉里·布尔热先生为首席运营官,以帮助经济增长的速度。拉里在主流半导体领域的丰富经验,并曾担任工程经理和特殊产品经理ASTEX,MSK,和Axcelis公司。目前,歇先生负责所有的工程和生产的PVD产品。
2012年PVD产品6月迁至目前的设施。位于交通便利30分钟(20英里)波士顿以北,PVD产品占据了现代1.7万英尺的制造工厂。我们有5800平方英尺的清洁生产空间,并1425平方英尺为我们的应用实验室包括PLD / MBE 2300双特高压磁控管,并与AMRAY 3600 FE SEM与EDS单元一起溅射沉积系统。