FRT.

FRT是世界领先的研发和大批量生产的3D计量供应商之一。frt microoprof.^®在半导体前端，先进的包装，MEMS，VCSEL，汽车，工程和光学方面成立。

第三代超稳定平台和完整的内部软件是20多年的经验。FRT多传感器概念和混合计量选项是赋予世界各地生产线的授权。

应用是地形，步进高度，粗糙度，TTV，弓形，经纱，应力，TSV，层和堆叠厚度，叠加和CD - 以及许多其他参数，无接触和完全自动化。各种测量方法可以与观测传感器的点，线和场以及一个计量工具中的膜厚度传感器和原子力显微镜结合在一起。