在TEM中的EDS：基础知识和原则

虽然绝大多数能量分散X射线光谱（EDS）系统安装在扫描电子显微镜（SEM）上，但在透射电子显微镜（TEM）上掺入EDS系统，可以访问相同的成分信息的财富，但是比SEM中可实现的规模要小得多。

然而，与SEM相比，TEM从硬件和分析的角度提出了一组非常不同的挑战。在这个网络研讨会中，我们经历了TEM中的X射线生成，检测和分析的基础，重点关注TEM独有的挑战。这包括持有者影响，几何优化，量化和校正程序以及诸如Fiori号和人工峰的性能度量。