电子设备越来越小和更有效率,因此需要更高质量的检验半导体精密加工过程。描述各种组件结构的临界尺寸是一个重要的步骤来提供质量控制反馈制造流程。现有技术功能组件结构(例如,战壕,线条和光栅)测量到几百纳米,不包括使用光学显微镜由于光线衍射极限。然而,原子力显微镜(AFM)可以提供纳米精度在x, y和z方向没有破坏性的组件和,因此,是一个非常有用的工具,这些结构特征。
在这个工厂,我将简要地介绍了磨料流加工的应用特性的战壕,线条和光栅。首先,我将介绍AFM的维度,一个大-平台系统,利用专有PeakForce开发模式优越的临界尺寸测量性能。然后我将讨论AutoMET,一个软件选项,允许用户自动测量样品在模式识别的帮助。我也会在离线批处理数据过程中专门为这些结构。最后,我们将总结车间现场演示显示如何衡量有图案的样本。
车间扬声器
注册